苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司
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苏州纳米科技发展有限公司是专注区域纳米技术产业发展的服务型国有公司,成立于2010年9月1日,英文名称为“Suzhou Nanotech”。
作为科技部门产业促进的延伸,苏州纳米科技发展有限公司立足园区纳米技术产业发展布局和实际需求,坚持以产业思维创新服务业务,以市场思维探索发展模式,推进苏州纳米城的建设与服务,引进产业创新资源,完善公共服务平台,投资与培育产业项目,促进产业集群发展,打造纳米技术产业的苏州品牌,以纳米技术产业发展的需求为导向,注重产业资源、创新要素的聚集和互动,全力构建新型的纳米技术产业生态圈。
苏州纳米科技下辖全资子公司——苏州工业园区启纳创业投资有限公司,苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司以及苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司。
苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司由苏州纳米科技发展有限公司与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所联合共建。按照江苏省“十二五”重大科技平台项目的要求,以及园区纳米技术产业战略部署,主要负责建设和运营微纳机电制造(MEMS)中试平台。该平台定位于填补研发机构与规模代工厂之间的空白,满足MEMS相关中小企业工艺研发和小批量生产的需求,促进MEMS中小企业成长和产业快速提升,将成为中国国内首条6英寸市场化运作的微纳机电制造(MEMS)中试平台。
主要服务模式包括:(1)中试工艺研发、产品委托研发;(2)6英寸MEMS加工(含部分封装)服务;(3)以技术平台支撑的知识产权运营;(4)产品检测;(5)代工工艺转移;(6)设备租赁、场地租赁;(7)工艺技术培训。
主要工艺:
加工:光刻,镀膜,刻蚀,注入,扩散,CMP
封装:键合,划片,共晶,回流,倒装焊
检测:光、电、力、磁检测,结构检测,形貌检测,产品性能检测
主要产品领域:MEMS传感器、MEMS光学器件、MEMS 生物微流芯片、MEMS 新能源器件及其它
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